实现 SEM 和 TEM 的卓越真空性能
SAES 高真空和超高真空 (UHV) 泵 为 电子显微镜 提供无与伦比的优势，确保稳定、干净的真空环境，这对于 扫描电子显微镜 (SEM)、透射电子显微镜 (TEM) 和 聚焦离子束 (FIB) 系统中获得最佳图像分辨率和数据精度至关重要。
通过在 电子枪腔室 内保持卓越真空，SAES 泵有助于减少污染，实现更高的束流稳定性，并提升先进 电子显微镜仪器 的整体性能。这项经过验证的技术支持了里程碑式的科学成果—— 例如在开发 mRNA 新冠疫苗 中发挥关键作用的高分辨率 TEM 图像。
从学术实验室到半导体应用，SAES 真空解决方案为尖端的 表面分析、 纳米结构表征、生命科学与材料科学研究 以及 半导体制造中的计量学 提供可靠、无振动的性能保障。
创新技术带来卓越成果
紧凑轻量化设计
泵重量仅 2.2 公斤，减少振动，便于操作和安装。
高抽速
对 H2 和活性气体的高抽速，可降低压力并延长电子源寿命。
无电力抽气
SAES NEG 泵可在无电力情况下持续抽气，使制造商能够在真空状态下运输显微镜，无需使用电池。
最终优势是系统安装更快，无需在最终用户现场重复烘烤。
另一个受欢迎的优点是在断电情况下可快速恢复。
